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去除碳化硅板中的杂质的详细需要哪些步骤?

2021-08-03 11:05:00
去除碳化硅板中的杂质的详细步骤:
首先来讲碳化硅的酸洗。酸洗通常是在加热的条件下,用硫酸对碳化硅颗粒进行处理,主要目的是为了去除碳化硅中的金属铁,氧化铁,镁,铝等杂质。这样可以很干净快捷的去除碳化硅板中的杂质。
其次是碳化硅板的碱洗。碳化硅的碱洗通常是在加热的条件下,用NAOH对碳化硅颗粒进行处理,主要目的是除去表面的游离硅,二氧化硅等等,这样可以提高碳化硅的含量,加强它的碳化硅含量。

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