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造成碳化硅板开裂的原因有哪些?

2021-07-12 09:04:00

        碳化硅板开裂的常见原因归纳如下:        

        1.碳化硅较厚时(如推板)会发生层裂,主要是压制时的分层和烧结时的密不透风造成的。
        

        2.使用碳化硅板时,往往在最初几次或较长时间后出现开裂。    

        3.碳化硅板刚开始使用时,碳化硅颗粒表面与外界接触最大,碳化硅氧化最多,体积膨胀最强。此外,碳化硅板中的碳化硅是由少量粘结剂结合而成。随着使用次数的增加,碳化硅表面的氧化膜逐渐熔化在一起,硅板的强度逐渐增强,碳化硅就不再开裂了。

        

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